国家标准《微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 合肥美的电冰箱有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、苏州大学 、微纳感知（合肥）技术有限公司 、宁波科联电子有限公司 、西北工业大学 、美的集团股份有限公司 、深圳市美思先端电子有限公司 、华东电子工程研究所（中国电子科技集团公司第三十八研究所） 、上海临港新片区跨境数据科技有限公司 、北京晨晶电子有限公司 、安徽北方微电子研究院集团有限公司 。

主要起草人 曹诗亮 、李根梓 、马卓标 、胡永刚 、孙立宁 、许磊 、王雄伟 、王学文 、王春举 、钱峰 、张森 、武斌 、张红旗 、张启心 、汤一 、陈林 、王文婧 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-14:2012。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第14部分：金属薄膜材料成形极限测量方法。