国家标准 - 全国标准信息公共服务平台

国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位北京有色金属研究总院。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 19921-2005 废止

硅抛光片表面颗粒测试方法

基础信息

标准号: GB/T 19921-2005
发布日期: 2005-09-19
实施日期: 2006-04-01
废止日期: 2019-07-01
上次复审日期: 2016-12-31
上次复审结论: 修订
标准计划: 20000544-T-610

标准类别

方法

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040.01

77 冶金

77.040 金属材料试验

77.040.01 金属材料试验综合

归口单位

全国有色金属标准化技术委员会

执行单位

全国有色金属标准化技术委员会

主管部门

中国有色金属工业协会

起草单位

北京有色金属研究总院

相近标准(计划)

GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法

YS/T 1754-2025 颗粒硅表面粉尘的测定浊度法

SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法

YS/T 1864-2026 流化床法颗粒硅表面金属含量的测定酸浸取-电感耦合等离子体质谱法

YS/T 1703-2024 晶片包装片盒表面颗粒的测试液体颗粒计数法

GB/T 4058-2009 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

YS/T 1853-2026 流化床法颗粒硅用籽晶

版权所有侵权必究
主管：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
技术支持：北京中标赛宇科技有限公司
支持电话：010-82261054
备案号：京ICP备18022388号-1