国家标准计划《电子工业用气体 三氟化氮》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 核工业理化工程研究院特气中心 、中核红华特种气体股份有限公司 、黎明化工研究院 、国家标准物质研究中心 、西南化工研究设计院 。

主要起草人 王少楠 、余启富 、宋再卿 、刘新明等 。