国家标准计划《半导体器件 基于扫描的半导体器件退化水平评估》由 TC78（全国半导体器件标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第五十八研究所 、无锡中微腾芯电子有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、工业和信息化部电子第五研究所 、北京智芯微电子科技有限公司 、西安卫光科技有限公司 、无锡市晶源微电子股份有限公司 。

主要起草人 万永康 、何静 、虞勇坚 、季伟伟 、宋国栋 、帅喆 、凌勇 、印琴 、张凯虹 、李锟 、贺致远 、李德建 、李飞 、常婷婷 、苏卡 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC TR 63133:2017。

采标中文名称:半导体器件 基于扫描监控技术的半导体器件退化水平评估方法。