国家标准计划《电子工业用气体 三氯化硼》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 西南化工研究设计院 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、光明化工研究设计院 。

主要起草人 孙福楠 、方华 、庄鸿涛 、周鹏云 。