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专用半透明移相掩模及掩模坯板特性表述规范

国家标准计划 制定 推荐性

国家标准计划《专用半透明移相掩模及掩模坯板特性表述规范》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院微电子中心 。

目录

项目进度

  1. 起草
  2. 征求意见
  3. 审查
  4. 批准
  5. 发布
当前标准计划

20000354-T-491 已终止

专用半透明移相掩模及掩模坯板特性表述规范

基础信息

计划号
20000354-T-491
制修订
制定
项目周期
84个月
下达日期
2005-12-14
标准类别
方法
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

中国科学院微电子中心

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