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国家标准《光掩模对准标记规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国科学院微电子中心。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 16524-1996 现行

光掩模对准标记规范

基础信息

标准号: GB/T 16524-1996
发布日期: 1996-09-09
实施日期: 1997-05-01

标准类别

基础

中国标准分类号

L95

国际标准分类号

31.200

31 电子学

31.200 集成电路、微电子学

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会

主管部门

国家标准委

采标情况

本标准等效采用其他国际标准：SEMI P6:1988。

采标中文名称:。

起草单位

中国科学院微电子中心

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