国家标准《硬面光掩模基板》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 长沙韶光微电子总公司 。
GB/T 15871-1995 现行
本标准非等效采用其他国际标准：SEMI P1:1992。
采标中文名称:。
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