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国家标准《硬面光掩模基板》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位长沙韶光微电子总公司。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 15871-1995 现行

硬面光掩模基板

基础信息

标准号: GB/T 15871-1995
发布日期: 1995-12-22
实施日期: 1996-08-01

标准类别

产品

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31.030

31 电子学

31.030 电子技术专用材料

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

采标情况

本标准非等效采用其他国际标准：SEMI P1:1992。

采标中文名称:。

起草单位

长沙韶光微电子总公司

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