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国家标准《光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位中国科学院微电子中心。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 16880-1997 现行

光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

标准解读视频课程

GB/T 16880-1997《光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》国家标准解读

基础信息

标准号: GB/T 16880-1997
发布日期: 1997-06-20
实施日期: 1998-03-01

标准类别

基础

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31.020

31 电子学

31.020 电子元器件综合

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

采标情况

本标准等同采用其他国际标准：SEMI P22:1993。

采标中文名称:。

起草单位

中国科学院微电子中心

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