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行业标准《薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部

主要起草单位 深圳清溢光电股份有限公司工业和信息化部电子工业标准化研究院

主要起草人 万承华张沛熊启龙等

目录

标准状态

基础信息

标准号
SJ/T 11516-2015
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部
行业分类

备案信息

备案号:50573-2015。

备案公告: 2015年第7号

起草单位

起草人

万承华
张沛
熊启龙

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