行业标准《薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 深圳清溢光电股份有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 。

主要起草人 万承华 、张沛 、熊启龙等 。

备案号：50573-2015。

备案公告： 2015年第7号 。