注册

国家标准《电子特气 磷化氢》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 西南化工研究设计院有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司上海正帆科技股份有限公司广东华特气体股份有限公司福建久策气体股份有限公司中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司苏州金宏气体股份有限公司江西华特电子化学品有限公司湖北和远气体股份有限公司全椒南大光电材料有限公司大连保税区科利德化工科技开发有限公司浙化省标准化研究院昊华气体有限公司西南分公司宿州伊维特新材料有限公司上海申南特种气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有限公司上海凡伟仪器设备有限公司联雄投资(上海)有限公司上海飞择科技有限公司上海市计量测试技术研究院沈阳中复科金压力容器有限公司浙江东开半导体科技有限公司和立气体(上海)有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限公司武汉分公司西南化工研究设计院有限公司双流分公司

主要起草人 孙福楠曾庆腾李东升傅铸红王百林曹素英何经余沙婷倪珊珊万娟秀朱明王新喜孙猛戴玺徐孝天方强孙建施旖旎赵趫郑新权陈洁吴靓方华李扬杨康唐中伟黄辉施卫丰姜阳李春华宫兵王大为易达文李阳梁永强梁成科高静赖晓峰谭依玲周鹏云王科熊壮

目录

标准状态

即将替代以下标准

GB/T 14851-2009 (全部代替)

电子工业用气体 磷化氢
当前标准

GB/T 14851-2025 即将实施

电子特气 磷化氢

基础信息

标准号
GB/T 14851-2025
发布日期
2025-03-28
实施日期
2025-10-01
全部代替标准
GB/T 14851-2009
标准类别
产品
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

相近标准(计划)