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国家标准《电子特气 六氟丁二烯》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行 ,主管部门为国家标准委

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标准状态

当前标准

GB/T 40417-2021 现行

电子特气 六氟丁二烯

基础信息

标准号
GB/T 40417-2021
发布日期
2021-08-20
实施日期
2022-03-01
标准类别
产品
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

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