国家标准《电子工业用气体 高纯氯》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 光明化工研究设计院 。
GB/T 18994-2003 废止
GB/T 18994-2014 （全部代替）
本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3.32:1995。
采标中文名称:。
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