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国家标准《电子工业用气体 高纯氯》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 光明化工研究设计院

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 18994-2003
发布日期
2003-03-05
实施日期
2003-08-01
被代替日期
2015-07-01
标准类别
产品
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

被以下标准代替

GB/T 18994-2014 GB/T 18994-2014 全部代替

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准:SEMI C3.32:1995。

采标中文名称:。

起草单位

相近标准(计划)