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国家标准《电子工业用气体高纯氯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位光明化工研究设计院。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 18994-2003 废止

电子工业用气体高纯氯

被以下标准替代

GB/T 18994-2014 （全部代替）

电子工业用气体高纯氯

基础信息

标准号: GB/T 18994-2003
发布日期: 2003-03-05
实施日期: 2003-08-01
废止日期: 2015-07-01

标准类别

产品

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20

71 化工技术

71.100 化工产品

71.100.20 工业气体

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准委

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3.32:1995。

采标中文名称:。

起草单位

光明化工研究设计院

相近标准(计划)

GB/T 18994-2014 电子工业用气体高纯氯

GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢

GB/T 15909-2017 电子工业用气体硅烷

GB/T 33774-2017 电子工业用气体丙烯

GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨

GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩

GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧

GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦

SJ/T 11517-2015 电子工业用气体一氧化碳

20231008-T-469 电子气体大宗气体

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