国家标准计划《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第5部分:非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。 拟实施日期：发布即实施。

主要起草单位 浙江博亚精密机械有限公司 、沈阳真空技术研究所有限公司 、有研工程技术研究院有限公司 、上海晶维材料科技有限公司 、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 、东北大学 、湘潭宏大真空技术股份有限公司 、广东思贝乐能源装备科技有限公司 、山东大瀚环境科技有限公司 、浙江海弘机电科技有限公司 、广东省博罗县质量技术监督检测所 、赛斯吸气剂（南京）有限公司 、杭州久铮技术有限公司 、杭州昆泰磁悬浮技术有限公司 、中山凯旋真空科技股份有限公司 、沈阳汇真真空技术有限公司 、中科同帜半导体（江苏）有限公司 、合肥工业大学 、武汉普迪真空科技有限公司 、德州煋业金属科技有限公司 、沈阳化工大学 。

主要起草人 陆学贵 、李松波 、杨清霞 、武涛 、宋青竹 、罗晟佳 、刘晓鹏 、徐晓强 、鲁涛 、向杰 、赵崇凌 、袁方 、郝明 、王桂鹏 、黄乐 、陈立 、陈云忠 、刘坤 、王双君 、李银霜 、郑斌 、谢元华 、孟祥华 、丁小川 、方良斌 、韩雪 、魏世通 、胡湘娥 、李晓刚 、赵永先 、毕海林 、马艳 、张世杰 、孙旭东 、马明全 、王鹏伟 、叶琳琳 、乔忠路 、刘诗梦 、王玲玲 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 21360-5:2023。

采标中文名称:真空技术 真空泵性能测量标准方法 第5部分:非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵。