国家标准计划《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第5部分:非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 浙江博亚精密机械有限公司 、沈阳真空技术研究所有限公司 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 21360-5:2023。

采标中文名称:真空技术 真空泵性能测量标准方法 第5部分:非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵。