国家标准《硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 宁波立立电子股份有限公司 、南京国盛电子有限公司 、信息产业部专用材料质量监督检验中心 。

主要起草人 李慎重 、许峰 、刘培东 、谌攀 、马林宝 、何秀坤 。