国家标准《硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、有研半导体材料有限公司 、广州市昆德科技有限公司 、青海芯测科技有限公司 、浙江海纳半导体有限公司 、乐山市产品质量监督检验所 、中国计量科学研究院 、亚洲硅业（青海）股份有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、开化县检验检测研究院 、南京国盛电子有限公司 、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 、义乌力迈新材料有限公司 。

主要起草人 刘立娜 、刘兆枫 、何烜坤 、刘刚 、杨素心 、孙燕 、高英 、王昕 、梁洪 、潘金平 、楼春兰 、宗冰 、李慎重 、潘文宾 、蔡丽艳 、王志强 、皮坤林 。