国家标准《硅片直径测量方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 洛阳单晶硅有限责任公司 。
主要起草人 刘玉芹 、蒋建国 、张静雯 、冯校亮 。
GB/T 14140.1-1993 （全部代替）
GB/T 14140.2-1993 （全部代替）
GB/T 14140-2009 现行
20231113-T-469 正在征求意见
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