注册

硅片直径测量方法 光学投影法

Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
国家标准 推荐性 废止

国家标准《硅片直径测量方法 光学投影法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 洛阳单晶硅厂 。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止
当前标准

GB/T 14140.1-1993 废止

硅片直径测量方法 光学投影法
被以下标准替代

GB/T 14140-2009 （全部代替）

硅片直径测量方法

基础信息

标准号
GB/T 14140.1-1993
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
废止日期
2010-06-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040.01
77 冶金
77.040 金属材料试验
77.040.01 金属材料试验综合
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

采标情况

本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F613:1987。

采标中文名称:。

起草单位

洛阳单晶硅厂

相近标准(计划)

GB/T 14140-2009  硅片直径测量方法
SJ/T 11543-2015  前投影机光学引擎技术要求及测量方法
SN/T 2672-2010  纺织原料细度试验方法（直径） 显微投影仪法
SJ/T 11544-2015  数字电视背投影显示器光学引擎技术要求及测量方法
GB/T 10685-2007  羊毛纤维直径试验方法 投影显微镜法
DB44/T 2088-2018  眼镜式立体投影机光学性能测量方法
20240161-T-609  纤维及微纤维棉直径及其分布的测定 光学扫描仪法
20233945-T-610  硅片径向电阻率变化测量方法
FZ/T 20026-2013  毛条纤维长度和直径测试方法 光学分析仪法
JB/T 5577.2-1991  透射式投影器投影仰角测量方法
  • 版权所有 侵权必究
  • 主管：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
  • 主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
  • 技术支持：北京中标赛宇科技有限公司
  • 支持电话：010-82261036
  • 备案号：京ICP备18022388号-1
全文