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国家标准《硅片直径测量方法光学投影法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位洛阳单晶硅厂。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 14140.1-1993 废止

硅片直径测量方法光学投影法

被以下标准替代

GB/T 14140-2009 （全部代替）

硅片直径测量方法

基础信息

标准号: GB/T 14140.1-1993
发布日期: 1993-02-06
实施日期: 1993-10-01
废止日期: 2010-06-01
上次复审日期: 2010-07-28
上次复审结论: 继续有效

标准类别

方法

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040.01

77 冶金

77.040 金属材料试验

77.040.01 金属材料试验综合

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准委

采标情况

本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F613:1987。

采标中文名称:。

起草单位

洛阳单晶硅厂

相近标准(计划)

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