国家标准《电子工业用气体 氮》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国计量科学研究院 、西南化工研究设计院 。
主要起草人 周泽义 、周鹏云 。
GB/T 16944-1997 （全部代替）
GB/T 16944-2009 现行
20231008-T-469 正在审查
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