国家标准《电子工业用气体 氮》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 化学工业部西南化工研究院 。
GB/T 16944-1997 废止
GB/T 16944-2009 （全部代替）
本标准等同采用ITU国际标准：SEMI C3.28:1992(1995)。
采标中文名称:。
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