国家标准《酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 新光硅业科技责任有限公司 。

主要起草人 王波 、过惠芬 、吴道荣 、梁洪 、敖细平 。