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国家标准《硅片径向电阻率变化的测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位峨嵋半导体材料研究所。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 11073-1989 废止

硅片径向电阻率变化的测量方法

被以下标准替代

GB/T 11073-2007 （全部代替）

硅片径向电阻率变化的测量方法

基础信息

标准号: GB/T 11073-1989
发布日期: 1989-03-31
实施日期: 1990-02-01
废止日期: 2008-02-01

标准类别: 方法
中国标准分类号: H21
归口单位: 中国有色金属工业协会
执行单位: 中国有色金属工业协会
主管部门: 中国有色金属工业协会

起草单位

峨嵋半导体材料研究所

相近标准(计划)

20233945-T-610 硅片径向电阻率变化测量方法

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