国家标准计划《硅片表面平整度测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 上海合晶硅材料有限公司 。

主要起草人 徐新华 、严世权 、王珍 。