国家标准《硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 洛阳单晶硅有限责任公司 。

主要起草人 田素霞 、张静雯 、王文卫 、周涛 。