国家标准计划《电子级三（二甲氨基）环戊二烯基锆》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 南大光电半导体材料有限公司 、苏州源展材料科技有限公司 、合肥安德科铭半导体科技有限公司 、苏州实验室 、中国电子技术标准化研究院 、上海集成电路材料研究院有限公司 、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司 、江苏南大光电材料股份有限公司 、长江存储科技有限责任公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、漳州兮璞材料科技有限公司 、全椒南大光电材料有限公司 、宁波南大光电材料有限公司 、南大光电（乌兰察布）有限公司 、南大光电（淄博）有限公司 、滁州市检验检测院 。

主要起草人 陈德义 、娄夏冰 、张学奇 、徐文涛 、史泽远 、陈玲丽 、常华 、陈鹏宇 、胡昌明 、胡海琴 、茅炳荣 、曹可慰 、杨敏 、刘奕然 、王孝进 、张跃来 、陈冲 、万烨 、赵俊莎 、张健 、乔玮 、黄秀荣 、黄杰 、吴怡然 、马鸣珂 、彭元兵 、高加新 、魏良杰 、江小芙 、吴弋航 、侯明 、樊蕾 、朱巧玉 、王嵩明 、姚梦 、杨紫霞 、金要曼 。