国家标准《电子级五（二甲氨基）钽》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 南大光电半导体材料有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、苏州实验室 、江苏南大光电材料股份有限公司 、苏州源展材料科技有限公司 、长江存储科技有限责任公司 、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 、全椒南大光电材料有限公司 、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司 、宁波南大光电材料有限公司 、合肥安德科铭半导体科技有限公司 、南大光电（乌兰察布）有限公司 、南大光电（淄博）有限公司 、安徽博泰电子材料有限公司 。

主要起草人 陈德义 、曹可慰 、茅炳荣 、徐文涛 、杨敏 、史泽远 、孙明璐 、陈鹏宇 、孙鹏 、张婷 、赵俊莎 、吴怡然 、张健 、罗文娇 、李雪 、高加新 、郭威 、王伟 、魏良杰 、毛国玉 、张学奇 、何晓晨 、张宝帅 、刘立伟 、王小亮 、孙丽丽 、曹益宁 、童祎 、陆平 、王博文 、彭元兵 、娄夏冰 、刘能巧 、孟庆典 、孙建 、高朋 、张鹏 、顾洋洋 。