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国家标准《电子级四(二甲氨基)钛》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 南大光电半导体材料有限公司中国电子技术标准化研究院苏州实验室江苏南大光电材料股份有限公司长江存储科技有限责任公司中芯国际集成电路制造(北京)有限公司苏州源展材料科技有限公司安徽亚格盛电子新材料股份有限公司全椒南大光电材料有限公司宁波南大光电材料有限公司安徽博泰电子材料有限公司合肥安德科铭半导体科技有限公司南大光电(乌兰察布)有限公司南大光电(淄博)有限公司

主要起草人 陈德义曹可慰茅炳荣徐文涛陆平史泽远孙明璐孙鹏陈鹏宇宣宗亮张婷张健高周高朋鲁铮郭威赵俊莎吴怡然魏良杰毛国玉娄夏冰王小亮汪海燕何晓晨刘立伟张汝志孙丽丽曹益宁张宝帅马得森王博文彭元兵刘能巧孟庆典孙建李雪姚梦华淑雅

目录

标准状态

当前标准

GB/T 46178-2025 即将实施

电子级四(二甲氨基)钛

基础信息

标准号
GB/T 46178-2025
发布日期
2025-10-05
实施日期
2026-05-01
标准类别
产品
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

陈德义
曹可慰
陆平
史泽远
陈鹏宇
宣宗亮
高周
高朋
赵俊莎
吴怡然
娄夏冰
王小亮
刘立伟
张汝志
张宝帅
马得森
刘能巧
孟庆典
姚梦
华淑雅
茅炳荣
徐文涛
孙明璐
孙鹏
张婷
张健
鲁铮
郭威
魏良杰
毛国玉
汪海燕
何晓晨
孙丽丽
曹益宁
王博文
彭元兵
孙建
李雪

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