国家标准计划《电子级(正丙基环戊二烯基)三(二甲氨基)锆》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。
主要起草单位 苏州源展材料科技有限公司 、苏州实验室 、中国电子技术标准化研究院 、合肥安德科铭半导体科技有限公司 、上海集成电路材料研究院有限公司 、南大光电半导体材料有限公司 、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司 、源展材料科技(泰州)有限公司 。
主要起草人 娄夏冰 、徐文涛 、曹可慰 、唐超 、孙猛 、陈德义 、逄增波 、陈鹏宇 、史泽远 、张跃来 、关金锋 、徐彪 、李春华 、白玉 、乔玮 、孙晓玲 、赵俊莎 、吴怡然 。
20256876-T-469 正在征求意见
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