国家标准计划《电子级三（二甲氨基）环戊二烯基铪》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 南大光电半导体材料有限公司 、合肥安德科铭半导体科技有限公司 、苏州源展材料科技有限公司 、苏州实验室 、中国电子技术标准化研究院 、上海集成电路材料研究院有限公司 、江苏南大光电材料股份有限公司 、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司 、源展材料科技（泰州）有限公司 、长江存储科技有限责任公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、漳州兮璞材料科技有限公司 、全椒南大光电材料有限公司 、宁波南大光电材料有限公司 、南大光电（乌兰察布）有限公司 、南大光电（淄博）有限公司 、滁州市市场监督管理局 。

主要起草人 陈德义 、汪海燕 、娄夏冰 、徐文涛 、曹可慰 、李春华 、史泽远 、陈鹏宇 、乔玮 、王伟 、刘兵 、郭威 、魏良杰 、胡昌明 、王孝进 、赵俊莎 、陈冲 、刘见华 、张健 、常华 、杨敏 、茅炳荣 、吴怡然 、黄秀荣 、吴弋航 、胡海琴 、刘莉 、张园园 、张跃来 、朱巧玉 、华淑雅 、汪浩 、涂有智 、徐灿 、胡锦国 、盛严恒 、余洁 、江小芙 。