国家标准计划《电子级三乙基铝》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 南大光电半导体材料有限公司 、苏州实验室 、中国电子技术标准化研究院 、江苏南大光电材料股份有限公司 。
20263948-T-469 正在起草
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