《微机电系统（MEMS）技术 扫描镜光学可靠性试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。
国内外尚无相关标准，本标准的制定将弥补我国在对MEMS扫描镜的光学特性、机械和控制特性等可靠性要求等方面的标准空白，有利于国内外MEMS领域科学技术的持续交流，也有助于提高中国标准的国际影响力。
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