《微机电系统（MEMS）技术 电容式加速度传感器（111）硅晶圆单面制备工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。
国内外尚无相关标准，本标准的制定将弥补我国在普通非SOI硅片上没有单片单面加工电容式加速度传感器通用工艺方法的标准空白，有利于国内外MEMS领域科学技术的持续交流，也有助于提高中国标准的国际影响力。
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