国家标准计划《化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院半导体研究所 。

主要起草人 陈涌海 、赵有文 、提刘旺 、王元立 。