国家标准计划《蓝宝石单晶衬底抛光片》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 天通银厦新材料有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、青岛华芯晶电科技有限公司 、中国科学院上海光学精密机械研究所 、广东中图半导体科技股份有限公司 、徐州凯成科技有限公司 、宁夏材料研究学会 、北方民族大学 、深圳中机新材料有限公司 。

主要起草人 鲁雅荣 、杨诗音 、康森 、李素青 、郑东 、杭寅 、张能 、陆椿 、韩凤兰 、李宁 、武金龙 、董福元 、陈斌 。