国家标准《蓝宝石单晶衬底抛光片》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 协鑫光电科技控股有限公司 、中国科学院上海光机所 、浙江昀丰新能源科技有限公司 、浙江上城科技有限公司 、江苏吉星新材料有限公司 。
主要起草人 魏明德 、黄朝晖 、刘逸枫 、杭寅 、徐永亮 、袁忠纯等 。
GB/T 30858-2014 现行
20240142-T-469 正在起草
29 电气工程 |
29.045 半导体材料 |