行业标准《半绝缘砷化镓单晶衬底片》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：100695-2025。
备案公告： 2025年第7号 。
适用于垂直梯度凝固法（VGF）、液封直拉法（LEC）或垂直布里奇曼法（VB）生长的，用于射频、太阳能电池领域的衬底片的生产、检验和质量评价。
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