《电子特气 六氯乙硅烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

电子级六氯乙硅烷作为高品质氮化硅、氧化硅薄膜的硅源前驱体，主要用于DRAM、 NAND Flash存储器的制造，以及28nm以下逻辑芯片的制备工艺。

由于其工艺温度较低、沉积速率较快、优异的自限制性以及成本优势，在12英寸半导体制造中已被广泛应用。

国际上英特尔、三星、台积电、海力士、美光等，国内长江储存、华虹、中芯国际、合肥长鑫等对六氯乙硅烷产品均有需求，伴随集成电路行业的蓬勃发展，需求量不断上升，预计2025年可翻一番。

中国已具备自主研制电子级六氯乙硅烷的技术，随着中国半导体行业发展，国内生产企业和应用单位也日益增加，国内芯片厂已陆续试用和批量使用。

为贯测落实《标准化法》，加快国内制度规则与国际接轨，提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子特气 六氯乙硅烷》国家标准英文版。