注册

国家标准《硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 上海市有色金属总公司

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 14146-1993
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
被代替日期
2010-06-01
中国标准分类号
H21
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

被以下标准代替

GB/T 14146-2009 GB/T 14146-2009 全部代替

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准:DIN 50439:1982。

采标中文名称:。

起草单位

相近标准(计划)