国家标准《硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、宁波立立电子股份有限公司 、信息产业部专用材料质量监督检验中心 。

主要起草人 马林宝 、唐有青 、刘培东 、李静 、金龙 、吕立平 。