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国家标准《电子特气 氟甲烷》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行 ,主管部门为国家标准委

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主要起草人 史婉君张建君方小青孙福楠付梦月侯玲玲郑秋艳董云海谭慧褚人财颜光清何经余曹素英傅铸红陈艳珊马建修程紧叶相平王新喜孙猛陈洁吴靓方华孙赟珑何波黄小强黄辉宫兵王大为易达文李阳梁永强梁成科高静吴克安白占旗徐娇叶树全赖晓峰方艾黎周鹏云张亮

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标准状态

当前标准

GB/T 40418-2021 现行

电子特气 氟甲烷

基础信息

标准号
GB/T 40418-2021
发布日期
2021-08-20
实施日期
2022-03-01
标准类别
产品
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

史婉君
张建君
付梦月
侯玲玲
谭慧
褚人财
曹素英
傅铸红
程紧
叶相平
陈洁
吴靓
何波
黄小强
王大为
易达文
梁成科
高静
徐娇
叶树全
周鹏云
张亮
方小青
孙福楠
郑秋艳
董云海
颜光清
何经余
陈艳珊
马建修
王新喜
孙猛
方华
孙赟珑
黄辉
宫兵
李阳
梁永强
吴克安
白占旗
赖晓峰
方艾黎

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