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国家标准《电子特气 氟甲烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会

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标准状态

基础信息

标准号
GB/T 40418-2021
发布日期
2021-08-20
实施日期
2022-03-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

史婉君
张建君
付梦月
侯玲玲
谭慧
褚人财
曹素英
傅铸红
程紧
叶相平
陈洁
吴靓
何波
黄小强
王大为
易达文
梁成科
高静
徐娇
叶树全
周鹏云
张亮
方小青
孙福楠
郑秋艳
董云海
颜光清
何经余
陈艳珊
马建修
王新喜
孙猛
方华
孙赟珑
黄辉
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李阳
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吴克安
白占旗
赖晓峰
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