全国半导体设备和材料标准化技术委员会编号TC203,由国家标准化管理委员会筹建及进行业务指导。
本届届号第4届,现任秘书长张军华。
负责专业范围为半导体设备和材料。
基础信息
- 委员会全称
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 英文全称
- Semiconductor Equipment and Materials
- 委员会简称
- 半导体设备和材料
- 委员会编号
- TC203
- 负责专业范围
- 半导体设备和材料
- 本届届号
- 第 4 届
- 筹建单位
- 国家标准化管理委员会
- 业务指导单位
- 国家标准化管理委员会
秘书处信息
- 现任秘书长
- 张军华
- 秘书处所在单位
- 中国电子技术标准化研究院
- 所在省(市)
- 北京市
- 通讯地址
- 北京市东城区安定门东大街1号
- 邮编
- 100007
- 联系人
- 曹可慰
- 电话
- 010-64102276
- 邮箱
- caokw@cesi.cn
- 传真
- 010-64102096
本届委员
下设分委会(SC)
1 |
TC203/SC1 |
气体 |
电子工业用气体(微电子、光电子、平板显示器制造用气体等) |
1993年 |
2 |
TC203/SC2 |
材料 |
半导体材料 |
1993年 |
3 |
TC203/SC3 |
封装 |
封装 |
1993年 |
4 |
TC203/SC4 |
微光刻 |
微光刻术语等基础通用,掩模基片、掩模版及光致抗蚀剂等关键材料的产品规范和检测方法,微光刻图形数据处理技术、光学光刻与电子束光刻工艺等微光刻关键工艺规范,光掩模制造与光刻工艺相关设备及部件等 |
2020年 |
相关国标计划
相关国家标准
相关的标准解读视频课程
相关行业标准
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