全国半导体设备和材料标准化技术委员会编号TC203，由国家标准化管理委员会筹建，国家标准委进行业务指导。

本届届号第4届，现任秘书长张军华。

负责专业范围为半导体设备和材料。

1	TC203/SC1	气体	电子工业用气体（微电子、光电子、平板显示器制造用气体等）	1993年
2	TC203/SC2	材料	半导体材料	1993年
3	TC203/SC3	封装	封装	1993年
4	TC203/SC4	微光刻	微光刻术语等基础通用，掩模基片、掩模版及光致抗蚀剂等关键材料的产品规范和检测方法，微光刻图形数据处理技术、光学光刻与电子束光刻工艺等微光刻关键工艺规范，光掩模制造与光刻工艺相关设备及部件等	2020年