全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会编号TC203/SC4，由全国半导体设备和材料标准化技术委员会筹建，国家标准委进行业务指导。
本届届号第1届，现任秘书长陈宝钦。
负责专业范围为微光刻术语等基础通用，掩模基片、掩模版及光致抗蚀剂等关键材料的产品规范和检测方法，微光刻图形数据处理技术、光学光刻与电子束光刻工艺等微光刻关键工艺规范，光掩模制造与光刻工艺相关设备及部件等。
基础信息
- 委员会全称
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会
- 英文全称
- Microlithography
- 委员会简称
- 微光刻
- 委员会编号
- TC203/SC4
- 负责专业范围
- 微光刻术语等基础通用，掩模基片、掩模版及光致抗蚀剂等关键材料的产品规范和检测方法，微光刻图形数据处理技术、光学光刻与电子束光刻工艺等微光刻关键工艺规范，光掩模制造与光刻工艺相关设备及部件等
- 本届届号
- 第 1 届
- 筹建单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 业务指导单位
- 国家标准委
秘书处信息
- 现任秘书长
- 陈宝钦
- 秘书处所在单位
- 中国科学院微电子研究所
- 所在省（市）
- 北京市
- 通讯地址
- 北京市朝阳区北土城西路3号
- 邮编
- 100029
- 联系人
- 陈宝钦
- 电话
- 010-82995580
- 邮箱
- chenbq@ime.ac.cn
- 传真
- 010-82995584
本届委员
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