行业标准《氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：81096-2021。
备案公告： 2021年第3号 。
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
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