行业标准《氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：85561-2022。
备案公告： 2022年第4号 。
本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为0.000 010%～0.10%。
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