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行业标准《通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法》，主管部门为电子工业部。

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标准状态

基础信息

标准号: SJ/T 10627-1995
发布日期: 1995-04-22
实施日期: 1995-10-01

主管部门: 电子工业部
行业分类: 无

备案信息

备案号：0044-1995。

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