国家标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 新特能源股份有限公司 、有研半导体材料有限公司 、亚洲硅业（青海）有限公司 、宜昌南玻硅材料有限公司 、隆基绿能科技股份有限公司 、内蒙古盾安光伏科技有限公司 、峨嵋半导体材料研究所 、北京合能阳光新能源技术有限公司 。

主要起草人 银波 、夏进京 、邱艳梅 、刘国霞 、柴欢 、赵晶晶 、刘文明 、姚利忠 、王海礼 、邓浩 、高明 、郑连基 、陈赫 、石宇 、杨旭 、肖宗杰 。