行业标准《硅中间隙氧的转换因子指南》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 、苏州晶瑞化学有限公司等 。

主要起草人 李静 、何秀坤 、刘兵等 。

备案号：50552-2015。

备案公告： 2015年第7号 。