国家标准《半导体制造用气体处理指南》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中昊光明化工研究设计院有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、高麦仪器公司 、广东华特气体股份有限公司 、东莞市联臣电子科技有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、上海市计量测试技术研究院 。

主要起草人 孙福楠 、牛艳东 、廖恒易 、杜汉盛 、王鸿 、方华 、陈鹰 、周鹏云 。