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国家标准计划《半导体制造用高纯聚合物组件测试方法第2部分：颗粒物》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位上海市计量测试技术研究院有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院。

目录

项目进度

当前标准计划

20265015-T-469 正在起草

半导体制造用高纯聚合物组件测试方法第2部分：颗粒物

基础信息

计划号: 20265015-T-469
制修订: 制定
项目周期: 12个月
下达日期: 2026-09-30

标准类别

方法

国际标准分类号

31.030

31 电子学

31.030 电子技术专用材料

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准委

起草单位

上海市计量测试技术研究院有限公司

中国电子技术标准化研究院

苏州实验室

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