国家标准计划《Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院半导体研究所 。

主要起草人 孙宝娟 、赵丽霞 、王军喜 、曾一平 、李晋闽 。